臺車退火爐是一種用于制造半導體器件的工藝，包括加熱若干半導體晶片以影響其電性能。熱處理是為不同的作用而設計的?？梢约訜峋约ぐl(fā)摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或薄膜轉(zhuǎn)換成晶片襯底界面，從而可以改變密集沉積的薄膜，可以恢復生長的薄膜，可以修理注入的損害，可以移動摻雜劑或?qū)诫s劑從襯底上轉(zhuǎn)移。M薄膜到另一薄膜或從薄膜到晶片襯底。

　　臺車退火爐可以集成到其他爐處理步驟中，例如氧化，或者可以自行處理。退火爐是為半導體晶片加熱而設計的設備。退火爐是一種具有節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能周期運行爐，節(jié)電60%。

　　臺車退火爐骨架采用多種型材焊接。外框以槽鋼為主梁，外殼板為冷薄板，小車以槽鋼為主梁，底板和前后端板為中板。

　　臺車退火爐傳動部分：小車傳動采用電機、減速器通過鏈條在前端驅(qū)動一組驅(qū)動輪。爐門驅(qū)動由蝸輪減速器和電動機驅(qū)動。

　　密封：小車和爐體采用迷宮式密封結(jié)構(gòu)，小車兩側(cè)裝有自動封砂密封裝置。門封采用滾道壓簧自動壓緊機構(gòu)，以優(yōu)良耐火磚結(jié)構(gòu)密封爐體部分，符合爐子密封。臺車承壓部分采用高壓鋁磚砌體。

　　臺車退火爐燃燒系統(tǒng)：在油爐兩側(cè)安裝多個燃燒器，熱流在爐內(nèi)往復流動，保護爐溫均勻?？梢愿鶕?jù)需要選擇自動和半自動類型。